Stožci ionskega žarka

Stožci ionskega žarka SIKAIDA so ključne komponente sistemov za implantacijo in prenos ionskega žarka. Izdelani iz naprednih keramičnih materialov visoke čistosti in obdelani z natančnim brizganjem in visokotemperaturnim sintranjem, imajo izjemno nizko vsebnost nečistoč, odpornost na visoke temperature in stabilno dimenzijsko natančnost. Strojno jih je mogoče obdelati v zapletene geometrije, da izpolnjujejo izjemno visoke tolerančne zahteve, zaradi česar so primerni za postopke visoko zmogljive polprevodniške ionske implantacije.

Kot profesionalni proizvajalec na Kitajskem SIKAIDA strankam po vsem svetu zagotavlja zanesljive, stroškovno učinkovite in prilagodljive stožce ionskih žarkov na področju polprevodnikov, ravnih zaslonov, optike, mikroelektromehanskih sistemov (MEMS) in sončne energije. SIKAIDA je zaupanja vreden dolgoročni dobavitelj in namenski proizvodni obrat za vrhunske procesne komponente z ionskimi žarki.

Materiali in proizvodnja

1. Materiali

Ion Beam Cones uporablja materiale, vključno z aluminijevim oksidom (Al₂O₃) s čistostjo ≥99,9 %, silicijevim nitridom (Si3N4) s čistostjo ≥99,5 %, cirkonijevim oksidom (ZrO₂) s čistostjo ≥99,8 % in taljenim silicijevim dioksidom (99,999 %). Vsi materiali izpolnjujejo stroge standarde čistosti polprevodniške industrije in so primerni za zahteve glede zmogljivosti različnih aplikacij.

2. Proizvodni proces

Proizvodni proces zajema natančno brizganje, visokotemperaturno sintranje, CNC natančno obdelavo, poliranje na ravni ogledala ter avtomatizirano čiščenje in testiranje. Vsak proces je strogo nadzorovan glede natančnosti in kakovosti, da se zagotovi, da končni izdelek ustreza industrijskim standardom in zahtevam strank.

Ključni parametri izdelka

1. Dimenzijska natančnost

Stožci ionskega žarka imajo tolerance, nadzorovane v okviru ±0,05 mm, površinsko hrapavost Ra≤0,4 μm, natančnost stožca notranje luknje ±0,02 mm, koaksialnost ≤0,03 mm in pravokotnost ≤0,02 mm. Ta izjemno visoka dimenzijska natančnost učinkovito zagotavlja natančnost prenosa ionskega žarka.

2. Površinska obdelava

Površinske obdelave vključujejo mehansko poliranje za zrcalno končno obdelavo, UV utrjene premaze za izboljšanje površinskih lastnosti, premaze, odporne na praske, za izboljšanje odpornosti proti obrabi ter kislinsko dekapiranje in pasiviranje za odstranitev nečistoč in izboljšanje stabilnosti. Ustrezne metode zdravljenja je mogoče izbrati glede na zahteve aplikacije.

3. Kazalniki uspešnosti

Stožci ionskega žarka delujejo v temperaturnem območju od -196 ℃ do +800 ℃, kar zagotavlja stabilno delovanje v ekstremnih temperaturnih okoljih. Imajo prostorninsko upornost ≥10¹⁴Ω·cm in površinsko upornost ≥10¹²Ω, kar kaže odlične izolacijske lastnosti. Imajo tudi izjemno odpornost proti plazmi in kemični koroziji, kar jim omogoča prilagajanje kompleksnim procesnim okoljem.

Temeljne prednosti

1. Izjemno visoka čistost: čistost surovine presega 99,9 %, kar zmanjšuje kontaminacijo polprevodniških rezin, zagotavlja stabilno električno delovanje naprav in izpolnjuje stroge zahteve glede čistosti pri proizvodnji polprevodnikov.

2. Izjemno visoka geometrijska natančnost: Zagotavlja dosledne dimenzije izdelka med masovno proizvodnjo, z napako konusnosti, nadzorovano v okviru ±0,05 mm, in napako okroglosti ≤0,02 mm, kar natančno ustreza zahtevam namestitve in uporabe sistemov za prenos ionskih žarkov.

3. Zrcalna kakovost površine: površinska hrapavost Ra≤0,4 μm, učinkovito zmanjšanje sipanja ionskega žarka, izboljšanje enotnosti prenosa ionskega žarka in nadaljnje optimiziranje natančnosti vsaditve polprevodniških naprav.

4. Stabilnost v širokem temperaturnem območju: deluje stabilno v globokih kriogenih do visokotemperaturnih okoljih. Material ima izjemno nizek koeficient toplotnega raztezanja, ohranja odlično dimenzijsko stabilnost tudi pri temperaturnih spremembah, kar preprečuje vplive na delovanje zaradi temperaturnih nihanj.

5. Odlična izolacija in odpornost proti koroziji: Učinkovito preprečuje kopičenje naboja med prenosom ionskega žarka in vzdrži močne kisline, močne alkalije in različne plazemske korozije, kar zagotavlja dolgoročno stabilno delovanje v kompleksnih procesnih okoljih.

Storitve po meri

Modele in velikosti izdelkov je mogoče prilagoditi glede na različne procesne zahteve. Podprti formati risb vključujejo STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF in fizične vzorce. Kar zadeva čas dostave, je dobava vzorcev 4-7 tednov, dobava serij izdelkov pa 8-12 tednov. Naš sistem kakovosti je v skladu s standardi ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH in SEMI, kar celovito zagotavlja kakovost izdelkov in učinkovitost dostave.

Področja uporabe

Stožci ionskega žarka se pogosto uporabljajo na številnih področjih, vključno z napravami za vsaditev ionov v proizvodnji polprevodnikov, opremo za obdelavo v ploskih zaslonih, sistemih nanašanja z ionskim žarkom (IBD) in jedkanja z ionskim žarkom (IBE) v proizvodnji optičnih naprav, proizvodnji mikroelektromehanskih sistemov (MEMS), opremo za ionsko dopiranje za sončne celice in procese ionske implantacije za močnostne polprevodniške naprave, kot je npr. bipolarni tranzistorji z izoliranimi vrati (IGBT) in močnostni MOSFET-ji.

Pogosta vprašanja:

V1: Kateri materiali se običajno uporabljajo v stožcih ionskih žarkov?

A1: Uporabljamo predvsem napredne keramične materiale, kot so aluminijev oksid visoke čistosti (Al₂O₃), silicijev nitrid (Si₃N₄) in cirkonijev oksid (ZrO₂). Ti materiali imajo izjemno visoko čistost, odlično odpornost na visoke temperature in stabilne električne lastnosti.

V2: Ali lahko UET zagotovi prilagojene specifikacije in površinske obdelave? 

A2: Da. UET lahko prilagodi velikost, konus, vrsto materiala in površinsko obdelavo stožcev v skladu z vašimi procesnimi zahtevami. Imamo bogate proizvodne izkušnje in lahko izpolnimo posebne zahteve strank glede uporabe.

V3: Kako sta zajamčeni natančnost in kakovost stožcev ionskega žarka?

A3: Sprejemamo sistem vodenja kakovosti ISO9001:2015 in smo opremljeni z visoko natančno opremo za testiranje, vključno s koordinatnim merilnim strojem, testerjem površinske hrapavosti in rentgenskim fluorescenčnim spektrometrom, da zagotovimo, da vsaka serija izdelkov izpolnjuje stroge industrijske standarde.

V4: Kakšen je dobavni cikel?

A4: Cikel dostave vzorca je 4-7 tednov, cikel dostave serijskega izdelka pa 8-12 tednov. Poseben cikel je odvisen od zahtevnosti izdelka in količine naročila.